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產(chǎn)品展示/ Product display

您的位置:首頁  /  產(chǎn)品展示  /  實(shí)驗(yàn)設(shè)備  /  研磨機(jī)  /  RAD-3520F/12Adwill-Global全自動(dòng)研磨用保護(hù)膠帶貼合機(jī)

Adwill-Global全自動(dòng)研磨用保護(hù)膠帶貼合機(jī)

Adwill-Global全自動(dòng)研磨用保護(hù)膠帶貼合機(jī) RAD-3520F/12

擴(kuò)充暢銷機(jī)型“RAD-3510F/12"的功能,實(shí)現(xiàn)高性能、省空間化。

1. 標(biāo)準(zhǔn)的雙裝載端口
2. 具有掃片功能的FOUP裝載端口作為標(biāo)準(zhǔn)功能提供
3. 設(shè)備占地面積約縮小30%
4. 可實(shí)現(xiàn)70片/小時(shí)的高生產(chǎn)能力 選用高速規(guī)格時(shí),可實(shí)現(xiàn)最大100片/小時(shí)的生產(chǎn)能力

  • 產(chǎn)品型號(hào):RAD-3520F/12
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-10-12
  • 訪  問  量:357
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詳細(xì)介紹

Adwill-Global全自動(dòng)研磨用保護(hù)膠帶貼合機(jī) RAD-3520F/12 特點(diǎn)介紹


擴(kuò)充暢銷機(jī)型“RAD-3510F/12"的功能,實(shí)現(xiàn)高性能、省空間化。

1. 標(biāo)準(zhǔn)的雙裝載端口

2. 具有掃片功能的FOUP裝載端口作為標(biāo)準(zhǔn)功能提供

3. 設(shè)備占地面積約縮小30%

4. 可實(shí)現(xiàn)70片/小時(shí)的高生產(chǎn)能力 選用高速規(guī)格時(shí),可實(shí)現(xiàn)最大100片/小時(shí)的生產(chǎn)能力

5. 每卷膠帶的晶圓貼膜數(shù)量最多可提高16%※膠帶長(zhǎng)度為100m/卷,晶圓尺寸為300mm(12英寸)直徑時(shí)

6. 可搭載多種選配功能 ESD措施、各種清潔功能、自動(dòng)換刀等


Adwill-Global全自動(dòng)研磨用保護(hù)膠帶貼合機(jī) RAD-3520F/12 規(guī)格參數(shù)


 A.晶圓裝載、掃片、取片

通過掃描檢測(cè)晶圓盒內(nèi)的晶圓。根據(jù)其檢測(cè)結(jié)果,由多軸機(jī)械臂取片,并運(yùn)輸至校準(zhǔn)單元。

B.晶圓校準(zhǔn)

晶圓以V形缺口或平邊為基準(zhǔn),以非接觸方式對(duì)晶圓的圓心進(jìn)行校準(zhǔn)后,運(yùn)輸至貼膜臺(tái)。

C.研磨用表面保護(hù)膠帶貼合

利用roll-to-roll方法,使用壓輥進(jìn)行研磨用表面保護(hù)膠帶貼合。利用最新的TTC機(jī)構(gòu),實(shí)現(xiàn)低張力貼合。

D.膠帶切割

通過3D運(yùn)動(dòng)控制(x、y、θ),沿晶圓外周進(jìn)行膠帶切割。


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