日本進(jìn)口shibaura多離子計(jì)檢測(cè)儀氣壓測(cè)量

日本進(jìn)口shibaura多離子計(jì)檢測(cè)儀氣壓測(cè)量 GMi 系列 特點(diǎn)介紹

廣域測(cè)量可測(cè)量

從大氣壓到高真空區(qū)域（10 5～ 5×10 -8 Pa）（同時(shí)使用GPM和GAM時(shí)）

可以連接具有不同測(cè)量范圍的測(cè)頭。使用

多離子計(jì)可以讓您根據(jù)應(yīng)用選擇測(cè)頭。

準(zhǔn)確的氣壓測(cè)量

可以輕松準(zhǔn)確地確認(rèn)氣壓（使用GAM時(shí)）

對(duì)環(huán)境影響低

只需根據(jù)需要更換探頭即可，降低運(yùn)行成本。

提高可視性

配備 LED，可讓您檢查異常情況

可維護(hù)性

易于更換探頭

各模式規(guī)格（組合模式）

GMi+GPM（離子計(jì)+皮拉尼計(jì)）

GMi+GPM+GAM（離子計(jì)+皮拉尼計(jì)+大氣壓傳感器）

測(cè)量值輸出信號(hào)

壓力為0～10V輸出（Log輸出）

可輸出 3 個(gè)控制輸出信號(hào)

設(shè)定點(diǎn) (GMi-1)

串行通信規(guī)格

可進(jìn)行RS232C/RS485通信(GMi-2)

日本進(jìn)口shibaura多離子計(jì)檢測(cè)儀氣壓測(cè)量 GMi 系列 規(guī)格參數(shù)

模型GMi-1GMi-2

規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 串行通訊規(guī)格 

適應(yīng)性強(qiáng)的多離子規(guī)傳感器M34 (NW16), M35 (NW25) 

可連接傳感器 多離子壓力計(jì) 傳感器：1 個(gè)

皮拉尼壓力計(jì) GPM：1 個(gè)（可選）

大氣壓力傳感器 GAM：1 個(gè)（可選） 

采樣時(shí)間70 ms 4次移動(dòng)平均處理 

測(cè)量值輸出輸出電壓 DC 0 至 10 V，Log 輸出 0.75 V / 1 位

壓力轉(zhuǎn)換公式 V = 7.25 + 0.75 × (Log P - 2) P = 10 ^ { ( V - 7.25 ) / 0.75 + 2 }

*對(duì)于設(shè)定點(diǎn)調(diào)節(jié) 兼作輸出電源（僅限 GMi-1） 

更新時(shí)間50毫秒 

控制輸入信號(hào)FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF

采用集電極開(kāi)路輸入、負(fù)邏輯操作*FIL ON/OFF 信號(hào)的使用方法因模式而異。 - 

控制輸出信號(hào)傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定點(diǎn) 1/2/3

發(fā)射有效

燈絲功率監(jiān)控

額定值：24 VMAX、50 mAMAX、

飽和電壓 1 V - 

串行通訊規(guī)格- RS232C/RS485 

LED顯示屏POWER/ERROR：電源、錯(cuò)誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）

FIL：發(fā)射有效 LED 

SET1：設(shè)定值 1 LED

SET2：設(shè)定值 2 LED

SET3：設(shè)定值 3 LED - 

發(fā)射電流1mA（1×10 -3 Pa以下）、10μA 

脫氣電子轟擊法（電子轟擊）1mA，330V 

傳感器耐壓2×10 5 Pa（絕對(duì)壓力） *必須單獨(dú)考慮法蘭、卡箍等的耐壓能力。