PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
日本tem-tech壓力測量傳感器用于粘性、泥漿 SE4000適合粘性 CMP 漿料的壓力測量。由于沒有死角,因此不存在 CMP 漿料硬化或氣泡等問題。PFA 傳感器采用流通式結(jié)構(gòu),可兼容高粘度-0.1或0~0.3、0.5、1MPa兼容電流/電壓輸出、喇叭口、Super300等配件接液部分:PFA應(yīng)用:泥漿
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日本tem-tech壓力測量傳感器用于粘性、泥漿 SE4000 特點(diǎn)介紹
適合粘性 CMP 漿料的壓力測量。由于
沒有死角,因此不存在 CMP 漿料硬化或氣泡等問題。
PFA 傳感器采用流通式結(jié)構(gòu),可兼容高粘度
-0.1或0~0.3、0.5、1MPa
兼容電流/電壓輸出、喇叭口、Super300等配件
接液部分:PFA
應(yīng)用:泥漿
高精度陶瓷傳感器與高純度PFA隔膜的接合結(jié)構(gòu)
?接液部材質(zhì)為無需擔(dān)心金屬離子流出的高純度PFA
?采用無封入液的驅(qū)動(dòng)傳感器,破損時(shí)不產(chǎn)生污染
?傳感器和隔膜雙重結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)1MPa的高壓測量
?也可確認(rèn)負(fù)壓狀況
日本tem-tech壓力測量傳感器用于粘性、泥漿 SE4000 規(guī)格參數(shù)
測定流體藥液、超純水、強(qiáng)酸、不因堿等腐蝕性流體而損害接觸液部材質(zhì)接觸氣體部材質(zhì)PFA隔膜、PFA接觸液部、聚丙烯上部殼體測定范圍0—0.3、0.5、1MPa容許極限壓力0.75MPa(測定范圍0.3、0.5MPa)、1.25MPa(測量范圍1MPa)電源電壓DC24V±10%DC15~24V輸出信號(hào)4~20mADC(2線式)0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC(3線式)綜合精度±1%FS(標(biāo)準(zhǔn)25°C、直線性、歇斯底里包括再現(xiàn)性)溫度補(bǔ)償范圍15~40°C(無結(jié)冰、結(jié)露)動(dòng)作溫度范圍0~80°C(無結(jié)冰、結(jié)露)溫度特性±0.5%FS/°C(溫度補(bǔ)償范圍內(nèi))相當(dāng)于IP55保護(hù)等級(jí)※室內(nèi)規(guī)格安裝螺釘管、PT、NPT、浮動(dòng)、超級(jí)300螺釘尺寸3/8"、1/2"、3/4"、1"(請咨詢其他)電纜取出直連電纜、防水連接器(其他請咨詢)附帶電纜3m標(biāo)準(zhǔn)(2芯+屏蔽線)3m標(biāo)準(zhǔn)(3芯+屏蔽電纜)
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