日本Anelva寬量程電離真空計控制電源測壓力

日本Anelva寬量程電離真空計控制電源測壓力 M-431HG 特點(diǎn)介紹

M-431HG是一款微型真空計專用真空計控制電源。

自動化真空設(shè)備中的壓力測量

濺射等工藝壓力的測量和控制

多室系統(tǒng)中的壓力測量

通用真空設(shè)備壓力測量

標(biāo)準(zhǔn)配備外部輸入/輸出和RS-232C通信功能

輸入電壓為寬電壓

日本Anelva寬量程電離真空計控制電源測壓力 M-431HG 規(guī)格參數(shù)

型號名稱M-431HG

壓力顯示范圍0.01×10 -7 ～ 13.2×10 0 Pa  *1 

壓力顯示數(shù)字化、自動測量范圍切換 

設(shè)定點(diǎn)2點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)裝備（帶遲滯） 

數(shù)模輸出對數(shù)或復(fù)合輸出切換（0 至 10 V） 

模擬輸出0 至 10 V（APC 兼容輸出） 

外部控制功能

（遠(yuǎn)程操作）輸入 燈絲開/關(guān)、參數(shù)鎖定、

燈絲切換、脫氣開/關(guān)、范圍保持 

 輸出 設(shè)定點(diǎn) 1、2、燈絲開/關(guān)狀態(tài)、

脫氣狀態(tài)、燈絲 1/2 狀態(tài) 

通訊功能標(biāo)準(zhǔn)配備RS232C（9600、4800、2400、1200bps） 

外形尺寸(mm)/質(zhì)量104寬×99高×296深 1.2公斤 

能量消耗50 VA AC90 至 240 V 50/60 Hz  *2 

發(fā)射電流10μA、100μA、1mA（自動切換或固定） 

排氣柵極通電加熱方式，3分鐘通電定時器 

燈絲開關(guān)按鍵和遠(yuǎn)程 I/O 操作 

燈絲保護(hù)13.3×10 0 Pa時燈絲關(guān)閉