日本syscom納米表面粗糙度形狀測(cè)量?jī)x分析

日本syscom納米表面粗糙度形狀測(cè)量?jī)x分析 TN-A1 特點(diǎn)介紹

非常適合精密表面加工、CMP 加工的質(zhì)量評(píng)估和晶圓檢查

NanoSeven的光學(xué)配置采用光學(xué)外差干涉作為測(cè)量原理，通過(guò)分析兩束光束之間的相位差獲得的電信號(hào)進(jìn)行測(cè)量。安裝時(shí)無(wú)需隔振臺(tái)或真空設(shè)備，高度分辨率可達(dá)0.1 nm以下。幾乎無(wú)耗材，運(yùn)行成本低。

縮短測(cè)量時(shí)間：幾秒鐘內(nèi)即可測(cè)量Ra，提高良率

價(jià)格設(shè)定低：維護(hù)方便，幾乎無(wú)耗材

無(wú)需隔振臺(tái)，因此您可以安裝在任何地方

非接觸式測(cè)量：使用激光進(jìn)行非接觸式測(cè)量

寬范圍測(cè)量：即使是大樣品也可以自動(dòng)進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量

操作簡(jiǎn)單：從測(cè)量到保存結(jié)果、輸出報(bào)告全自動(dòng)

高分辨率：采用光學(xué)外差干涉法，分辨率為0.1nm

日本syscom納米表面粗糙度形狀測(cè)量?jī)x分析 TN-A1 規(guī)格參數(shù)

測(cè)量方法光外差干涉測(cè)量法

高度分辨率0.1納米

參考高度測(cè)量范圍0.5nm～300nm

標(biāo)準(zhǔn)出行金額X軸25nm / Y軸25nm

光源氦氖紅色激光（633nm）

物鏡放大倍數(shù)：20X，NA0.4

本體外形尺寸寬313×深614×高428

體重約27公斤

軟件虛擬儀器

夾具導(dǎo)電PET 180mm x 180mm

縮短測(cè)量時(shí)間：幾秒鐘內(nèi)即可測(cè)量Ra，提高良率

價(jià)格設(shè)定低：維護(hù)方便，幾乎無(wú)耗材

無(wú)需隔振臺(tái)，因此您可以安裝在任何地方

非接觸式測(cè)量：使用激光進(jìn)行非接觸式測(cè)量

寬范圍測(cè)量：即使是大樣品也可以自動(dòng)進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量

操作簡(jiǎn)單：從測(cè)量到保存結(jié)果、輸出報(bào)告全自動(dòng)

高分辨率：采用光學(xué)外差干涉法，分辨率為0.1nm