UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T

UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S

用于晶圓周邊曝光的 UV-LED 光源，與 g 線和 i 線抗蝕劑兼容。

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詳細(xì)介紹

UV燈光源用于晶圓邊緣曝光ARK-T EW01S/EW04S

不僅可以安裝在新設(shè)備上，還可以方便地替換目前使用的UV燈光源。
配備UV-LED，可降低功耗，減少對環(huán)境的影響，延長光源的使用壽命，并且無需任何機(jī)械消耗部件，大大有助于降低客戶的運(yùn)行成本。

光學(xué)設(shè)計實現(xiàn)了超過 7,000mw/cm2 的高輸出。它是處理厚膜抗蝕劑的理想選擇，以前需要大量的處理時間。此外，可以顯著縮短曝光處理時間，大大有助于增加處理的晶圓數(shù)量。

物品	內(nèi)容
工作環(huán)境溫度	5～40℃（無凝結(jié)）
電源電壓	單相100~240V
工頻	50/60赫茲
發(fā)射峰值波長	365±5nm
光輸出穩(wěn)定性	±5%以內(nèi)
初始紫外線強(qiáng)度	2000mw/c㎡以上（at365nm，距離掩模版0.5mm）
強(qiáng)度分布均勻性	10% 或更少（4 x 5 mm 面積）
紫外光源	紫外LED
UV光源壽命	20,000 小時（驅(qū)動電流下的預(yù)計壽命）* UV 強(qiáng)度為初始值的 50% 或以上時的累積點亮?xí)r間
照射ON/OFF功能	UV-LED 開/關(guān)控制（通過遠(yuǎn)程和手動控制開/關(guān)燈）
光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能	UV-LED 電流調(diào)節(jié) 光強(qiáng)度調(diào)節(jié)范圍為 20 至 99%
外觀材質(zhì)	防銹的
外形尺寸	150（寬）×200（深）×192（高）毫米

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